壓電馬達(dá)帶來的高力和小設(shè)計(jì)

寬只有45毫米

驅(qū)動(dòng)力7 N

具有納米位置分辨率的增量傳感器

XY組合，不帶轉(zhuǎn)接板

壓電慣性驅(qū)動(dòng)

壓電慣性驅(qū)動(dòng)器是節(jié)省空間且價(jià)格合理的壓電驅(qū)動(dòng)器，具有相對(duì)較高的夾持力和幾乎無限的行程范圍。慣性驅(qū)動(dòng)原理基于單個(gè)壓電致動(dòng)器，該壓電致動(dòng)器由特殊驅(qū)動(dòng)器電子設(shè)備提供的修改后的鋸齒電壓進(jìn)行控制。執(zhí)行器緩慢膨脹并移動(dòng)流道。由于其慣性，轉(zhuǎn)輪無法跟隨執(zhí)行器的后續(xù)快速收縮，并保持在其位置。驅(qū)動(dòng)器的最高工作頻率為20 kHz，直接作用在轉(zhuǎn)輪上并達(dá)到最大速度。6毫米/秒

 

Physik Instrumente 應(yīng)用領(lǐng)域

微型裝配。光子學(xué)。光學(xué)對(duì)準(zhǔn)。顯微鏡檢查。Beamline儀表。半導(dǎo)體技術(shù)。測(cè)試。

 

Physik Instrumente 直接測(cè)量原理

線性平臺(tái)配備有非接觸式測(cè)量光學(xué)線性編碼器和參考開關(guān)。分辨率1 nm。

三、Physik Instrumente產(chǎn)品分類

Physik Instrumente納米定位壓電彎曲平臺(tái)

Physik Instrumente微型舞臺(tái)

Physik Instrumente線性平臺(tái)

Physik Instrumente線性執(zhí)行器

Physik Instrumente旋轉(zhuǎn)臺(tái)

Physik Instrumentexy平臺(tái)

四、Physik Instrumente產(chǎn)品型號(hào)；

Physik Instrumente  L-505.021212F

Physik Instrumente  L-505.AP1

Physik Instrumente G-901.R3197

Physik Instrumente P-734.2CL

Physik Instrumente E-501,00  

Physik Instrumente E-503,00  

Physik Instrumente E-509,C3A,

Physik Instrumente P-561.3CD

Physik Instrumente L-611.90AD

Physik Instrumente P-563.3CD

Physik Instrumente E-727.3CD

Physik Instrumente P-561.3CD

Physik Instrumente E-727.3CDAP

Physik Instrumente C-887.522

Physik Instrumente Hexapod H-811.F2:

Physik Instrumente U-780.DLS

Physik Instrumente N-565.160

Physik Instrumente N-565.260